产品细节
产品编号:069
产品名称:Quadbar 4630
产品规格:Quadbar 4630
产品类别:离子产生器及其它
产品说明
Simco-Ion Quadbar 的设计是同类产品最洁净的,以 24 VDC 电源输入,符合 ISO 14644-1Class 1 洁净水平。
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• 采用 IsoStat® 技术和四极静电针架构 | • 可在最靠近的 3 英寸 (7.6 cm) 距离,提供快速的消散时间和稳 |
• 紧凑细小的体积 | 定的离子平衡 |
• 24 VAC 或 24 VDC 电源输入 | • 适合安放在紧密有限的制程工具环境 |
• 选用单晶硅静电针 | • 可接连 24 VAC 或 24 VDC 电源 或 4030 控制台或小型变压器 |
• 报警输出至制程工具控制台或设备监控系统 | • 单晶硅静电针提供最洁净的电离材质;使用 24VDC电源输入时, |
能达至 ISO 14644-1 Class 1 标准使用 24 VAC 电源输入时,满 | |
足 ISO 14644-1 Class 2标准 |
Simco-Ion IsoStat 技术能保证本能平衡,不需要复杂的回馈电路设计,无须调整或校正,而又极少需要维护。它基于物 理定律 – 电荷守恒:在孤立系统内,电荷不会被创造或消灭;把静电针与地隔离,IsoStat 技术保证产生相同的正和负的 离子,保护敏感的产品。
Quadbar 离子产生器 装放在晶圆上面和下面,不论环境气流,都能加快两面的消散时间。
Quadbar 的电源输入有不同的选择,可用 4030 控制台能串联 4 台一起,或接地的 24 VAC 电源,或 24 VDC 设备电源
(虽然离子输出会稍少)。多样的选择,令 Quadbar 能在任何地方安装和配合电源要求,使其成为一个通用和有效的离子
发生器。