产品细节
产品编号:053
产品名称:5822i
产品规格:5822i
产品类别:风扇型
产品说明
5822i
5822i 离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧密的空间条件,和严格的静电防控要求,尤其适用于硬盘制造和半导体后段封测工业。 它能维持 <±3 V 的离子平衡,又可接连外置回馈系统以达至 <±1 V 的 效能。内置的离子平衡自动修正系统,能确保目标对象在精准控制中,减少维修次数和降低操作成本。配置的气流定向器,无须更多的空间,也能把精准平衡的离子直接吹到目标。
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● ±3 V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回 | ● 直送吹风设计能改善离子吹送和静电控制 |
馈系统能达至±1 V) | ● 对产品错误能作出快速反应 |
● 设备监控接口和声响报警 | ● 允许更弹性的安装位置,又能维持效能 |
● 外置控制盒 | ● 适合在高要求的微污染控制环境使用 |
● 符合洁净度 ISO 14644-1 Class 4 |
5822i 离子风机的选配外接感应器,可接连Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被动检测系统 3350 系列,
和 Novx 主动检测系统 3360 系列,作出检测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置,信号会回馈到 5822i 的
控制线路,以达至和维持离子平衡在±1 V 或更好的效能。
气流定向器叠加在风机上,把气流直接吹向目标,就算在比较远的工作距离,也可避免离子分散和互相结合
的问题,维持优越的消散时间。